潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近二、三十年來隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì)，有效地控制微量雜質(zhì)，以保證高科技產(chǎn)品的成品率和可*性。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜質(zhì)控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的監(jiān)測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

　　對于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。
　　隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。
 　　我國的潔凈技術(shù)和設(shè)備與國外先進(jìn)國家相比差距是明顯的，我國1965年才開始生產(chǎn)的HEPA過濾器，比國外晚了十五年。1975年開始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計(jì)數(shù)器比國外晚了二十年。0．1微米潔凈技術(shù)和設(shè)備在國際上先進(jìn)國家已成為成熟技術(shù)，我國則剛剛起步。
 　　世界各工業(yè)先進(jìn)國家為適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展，對大量使用的高效過濾器的研究從未中斷，幾年來一直在開發(fā)不同結(jié)構(gòu)不同性能的新產(chǎn)品，美國自1979年開始研制0．1微米ULPA過濾器，1984年美國AAF公司開始生產(chǎn)0．1微米無隔板ULPA過濾器，目前0．1微米ULPA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生產(chǎn)。日本也已成為世界上生產(chǎn)0．1微米ULPA過濾器廠家最多的國家，品種繁多，產(chǎn)品系列化，尤其是低壓損型0．1微米ULPA過濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術(shù)難題。國際市場對高效空氣過濾器的需求量很大，且每年均有增長，目前日本每年銷售超過100萬臺(tái)，按每臺(tái)平均價(jià)格200美元計(jì)算，銷售額達(dá)2億美元。我國高效空氣過濾器市場需求量已接近每年10萬臺(tái)，占國際市場的2％~4％，但至今還沒有0．1微米ULPA過濾器生產(chǎn)，用于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)潔凈廠房及各種高科技領(lǐng)域潔凈廠房的0．1微米ULPA過濾器目前還要依賴進(jìn)口。
　　在潔凈室建設(shè)規(guī)模和技術(shù)水平上，我國與先進(jìn)國家差距更大。日本清水建設(shè)公司一家，1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達(dá)71．8萬平方米，而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米，但八五期間有較大發(fā)展，1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設(shè)規(guī)模更大，1998年統(tǒng)計(jì)已達(dá)188．5萬平方米。在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0．1微米級(jí)的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級(jí)潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個(gè)1000平方米控制0．1微米塵埃的千級(jí)廠房，換氣次數(shù)高達(dá)300次／分。美國在臺(tái)灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。我國使用的0，1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0．1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)最新的潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高級(jí)別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可*性的影響作用。
　　潔凈技術(shù)和裝備的國際市場十分巨大，日本到80年代末、90年代初潔凈技術(shù)和設(shè)備的銷售額已突破35億美元。美國和西歐等先進(jìn)國家潔凈設(shè)備和基礎(chǔ)部件的銷售額已達(dá)73億美元。據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，我國主要八家最大的凈化設(shè)備廠的銷售額1990年為8217萬元，還不足1億，1993年達(dá)到14495萬元，占國際市場銷售額的0．34％。但隨著我國高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展，我國潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場，以每年40％~50％的增長速度在增加。

TS型裝置式潔凈室是一種利用空氣單向氣流（水平平行流）進(jìn)行層流過濾，并經(jīng)多級(jí)凈化，再由送風(fēng)單元將凈化后空氣送至工作區(qū)，如此反復(fù)循環(huán)工作的高潔凈度潔凈室。TS潔凈室還配備TSFL型風(fēng)淋室一臺(tái)，風(fēng)淋室安裝在潔凈室的入口處，操作人員進(jìn)入潔凈室工作必須先經(jīng)過風(fēng)淋室風(fēng)淋。風(fēng)淋時(shí)將污染的空氣通過中、高效空氣過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣經(jīng)噴口以高速旋轉(zhuǎn)切線方向吹向人體各部位，將附著在工作服上的灰塵吹掉。 
     該潔凈室凈化面積為13m3；潔凈度級(jí)別為100級(jí)（≥0．5μ塵?？倲?shù)≤3．5粒／L；總風(fēng)量≈6000m3／h，新風(fēng)量占5％；工作區(qū)平均斷面風(fēng)速≥0.35m/s;換氣次數(shù)約180次／h；室內(nèi)正壓≥0．5毫米水柱；噪聲＜70分貝（A樓）；電源功率為FL－1型風(fēng)淋室10．1kW，380V，DY－1型凈化送風(fēng)單元1kW,380V，還有220V照明及380V電源插座等。潔凈室和風(fēng)淋室的電路均由電氣箱控制，電氣箱上并裝有75A電流表和450V電壓表各一塊。由于該設(shè)備具有潔凈度高、密封好、剛性好、輕巧美觀、不易積塵，而且能夠在較短時(shí)間內(nèi)建成一潔凈級(jí)別較高的工作環(huán)境等特點(diǎn)，因此廣泛用于電子、精密儀器、儀表、醫(yī)藥及要求空氣潔凈度高的各種生產(chǎn)場所、；也常用于質(zhì)檢、衛(wèi)生防疫、醫(yī)院等部門要求空氣潔凈度高的無菌室、手術(shù)室。 
   由于該設(shè)備的電源功率較大，因此，在使用中應(yīng)定期將電流、電壓表送計(jì)量部門檢定，并注意該設(shè)備工作時(shí)切勿超負(fù)荷工作，應(yīng)經(jīng)常觀察該設(shè)備工作狀態(tài)時(shí)電氣控制箱上電流、電壓表所指示的電流、電壓與實(shí)際使用中的電流、電壓是否吻合，若使用的電流較大而電流表所指示的電流卻很小，此時(shí)應(yīng)立即停止使用，將電流表送計(jì)量部門檢定、維修。還要注意潔凈室和風(fēng)淋室的清潔，在實(shí)驗(yàn)前、后用5％來蘇爾稀釋液擦抹過濾送風(fēng)、回風(fēng)凈化單元、設(shè)備內(nèi)壁、工作臺(tái)面以及風(fēng)淋室的過濾器、四壁及噴口，凈化單元過濾器應(yīng)常拆下來清洗，以保證凈化送風(fēng)單元正常工作。另外，還要經(jīng)常對潔凈室內(nèi)空氣潔凈度進(jìn)行測試，該測試需要一些儀器，如潔凈度等級(jí)（潔凈室內(nèi)空氣中的含塵濃度）需用塵埃粒子計(jì)數(shù)器測定；斷面平均風(fēng)速需用熱 
    球式風(fēng)速儀來測定；室內(nèi)正壓需用傾斜式微壓計(jì)測定；噪聲需用精密聲級(jí)計(jì)測定等等。按上測試方法對該潔凈室進(jìn)行測度，測試結(jié)果準(zhǔn)確，但由于該測試方法所需儀器較多，而且該設(shè)備的使用單位一般不可能完全具備這一測試條件，因此不可能按上述方法對該潔凈室進(jìn)行測試。那么，使用人員如何做到對該潔凈室空氣潔凈度心中有數(shù)？如何  出人為對潔凈室的污染？又如何使檢驗(yàn)結(jié)果具備真實(shí)、準(zhǔn)確性呢？下面介紹一種通過對潔凈室內(nèi)空氣中沉降菌的測試，以測試結(jié)果來判定該潔凈室潔凈度的簡便方法。該方法——沉降法是通過自然沉降原理收集在空氣中的微生物粒子于經(jīng)高壓來菌的玻璃平皿中，加入45℃溫度的營養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基，混心冷卻后，經(jīng)若干時(shí)間在適宜條件下讓其繁殖到可見的菌落進(jìn)行計(jì)數(shù)，以平皿中的菌落來判定潔凈環(huán)境中的活微生物數(shù)，并以此來評(píng)定該潔凈室的含塵濃度。 
   一、所需儀器設(shè)備： 
   高壓來菌  消毒器（使用時(shí)嚴(yán)格按消毒器說明書操作）、恒溫培養(yǎng)箱（培養(yǎng)箱的溫度計(jì)必須定期送計(jì)量部門檢定）、培養(yǎng)皿（一般用Φ90mm×15mm的硼硅玻璃培養(yǎng)皿）、培養(yǎng)基——營養(yǎng)瓊脂。 
1．培養(yǎng)基配方 
    蛋折胨10g、牛肉膏3g、氯化鈉5g、瓊脂18g、蒸餾水1000ml。 
2．制法 
    將除瓊脂以外的成分深于蒸餾水內(nèi)，加入15％氫氧化鈉深液約2ml，校正pH至7．2～7．4，加入瓊脂后加熱煮沸，使瓊脂溶化，分裝于三角燒瓶，121℃高壓滅菌15min，冷卻后放置于冰箱內(nèi)2～5℃保存?zhèn)溆谩?nbsp;
   二、測試步驟 
1．采樣方法 
    將經(jīng)121℃30min高壓滅蓖的培養(yǎng)皿在潔凈室工作臺(tái)面上前、后、中段位置放置，放置方式如圖1所示，（采樣點(diǎn)的面置應(yīng)均勻，避免采樣點(diǎn)在某局部區(qū)域過于集中或過于稀疏）。每個(gè)測試點(diǎn)放置2個(gè)培養(yǎng)皿，培養(yǎng)皿應(yīng)編號(hào)，并注明所測試區(qū)域。培養(yǎng)皿如圖1方式放置好后，打開培養(yǎng)皿蓋，使培養(yǎng)皿暴露0．5h后，蓋上培養(yǎng)皿蓋。注意采樣時(shí)所有測試用具均須作滅菌處理，應(yīng)防止人為對樣本的污染，以確保測試的可靠性和準(zhǔn)確性。